최고 평점의 Fab용 RTP 램프

팹 플로어에서의 열 예산 열 예산은 가이드라인이 아니라 엄격한 경계선이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 1도만 벗어나도 포토레지스트 프로파일이 변한다. CD 제어가 흐트러지고 오버레이 오류가 증가한다. 곧 라인은 좋은 다이를 스크랩에서 분리하는 것이 아니라 문제를...