팹 플로어에서의 열 예산 열 예산은 가이드라인이 아니라 엄격한 경계선이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 1도만 벗어나도 포토레지스트 프로파일이 변한다. CD 제어가 흐트러지고 오버레이 오류가 증가한다. 곧 라인은 좋은 다이를 스크랩에서 분리하는 것이 아니라 문제를...

공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 단순한 공정 단계가 아니다. 이것이 바로 관문이다. 단 한 번의 온도 이탈, 한 번의 입자 발생으로 많은 웨이퍼를 잃을 수 있다. 우리는 이 관문을 지속적으로 차단하기 위해 팹 램프용 석영 유리 쉴드를 제작했다. 중요한 핵심 사항...