적외선 램프가 위험 요소가 되지 않도록 하세요 화학 세척 과정에서 적외선 램프를 사용할 때는 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 그러한 인화성 증기들은 결코 가벼운 문제가 아닙니다. 일반적인 전구를 그곳에 사용한다면, 그건 재앙을 초래하는 행위입니다. 그래서 우리는...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 선 굵기를 정확하게 제어해야 합니다. 조금이라도 오차가 생기면 노출 범위가 줄어들고, 웨이퍼 위의 패턴들도 제대로 형성되지 않습니다. 캐논의 리소그래피 히터는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 설계되었습니다. 열 특성을 안정적...