고급 포장 적외선 램프

고급 패키징 라인에서 열 관리 허용치는 매우 좁다. 포토레지스트 베이크 중 2℃의 변동만으로도 중요한 치수에 영향을 줄 수 있으며, 재작업 비용은 폐기된 웨이퍼 수로 산정된다. 우리는 이 적외선 램프를 제작하여 해당 열 범위를 정확히 유지하도록 설계했다—규격 내에서,...