와이퍼 산화 가열 소자

반도체 제조 공장에서는, 아주 작은 온도 변동도 큰 문제로 이어질 수 있다는 것을 금방 깨닫게 됩니다. 산화 과정에서 웨이퍼의 온도가 0.5°C만 변해도 게이트 산화막의 무결성에 악영향을 줄 수 있습니다. 리소그래피 과정에서도, 몇 도만 온도가 달라져도 선의 굵기에...