클린룸 오븐 적외선 히터

클린룸에서의 탄소 감축: 왜 적외선이 최선의 방법인가 대부분의 반도체 가열 시스템은 여전히 대류 방식에 의존하고 있습니다. 기본적으로는 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 거대한 공기 주머니를 가열하는 것입니다. 이 방식은 매우 느리고, 에너지 낭비가 심합니다. 솔직히 말해...