고체 배터리 가공 히터

반도체 공장에서는, 전고체 배터리 제조 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 그래프 상의 곡선에 불과한 것이 아닙니다. 이러한 온도 변동은 웨이퍼를 낭비하게 만들고, 열 관리에도 부담을 주며, 생산 스케줄링을 어렵게 만듭니다. 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드...