반도체 제조 장비에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 만약 고출력의 경화 램프를 장비 내부에서 사용해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 물리학적으로 볼 때, 일반적인 램프들은 열을 360도 방향으로 방출합니다. 공간이 협소한 장비 내부에서 이런 상황은 재앙...

웨이퍼 가공 과정에서 발생하는 램프 고장 문제를 해결하는 방법 고부하 상태에서 웨이퍼를 가공할 때, 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 치명적인 문제입니다. 만약 석영관이 파손된다면, 유리 조각들과 할로겐 침전물들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다....