더 이상 히터로 인해 웨이퍼가 망가지는 일을 방지하세요. 클래스 100급 청정실에서는 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 제품이 폐기되는 경우가 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 대부분의 일반적인 히터들도 문제를 일으킵니다. 이러한 히터들은 공기를 밀어내거나 미세...

쇄편을 막아라: IR 건조 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서를 생산하는 사람이라면, 건조 단계가 가장 위험한 순간이라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 상상해보세요: 적외선 램프가 과부하에 의해 파손됩니다. 그러면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이...

CMP 공정 이후의 건조 단계에서는 미세한 수분 방울들이 남게 되는데, 만약 건조 과정에서 온도가 변동한다면 이러한 수분 방울들이 결함으로 변질될 수 있습니다. 온도가 단 1도만 변해도 다음 가열 과정에서 포토레지스트의 성능이 변하게 됩니다. 또한 가열 과정에서 입자...

와이어상에서의 웨이퍼 건조 과정은 단순히 물리적인 상태를 확인하는 과정이 아닙니다. 이는 패턴의 완성도가 확정되기 전의 마지막 열처리 단계입니다. 조금이라도 수분이 남아 있거나, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도 제어가 제대로 이루어지지 않으면, 포토레지스트...

300 mm 라인에서 스핀 드라이어가 사이클을 마쳐도 웨이퍼가 여전히 젖어 있는 경우가 발생한다. 패턴 내부에 갇힌 물, 가장자리의 물 방울 현상 등이 그 예다. 기존의 핫플레이트를 사용하면 온도 상승이 느리고 불균일해 물방울이 남을 위험이 있다. 빠른 공기 블로우오...