더 이상 히터로 인해 웨이퍼가 망가지는 일을 방지하세요.
클래스 100급 청정실에서는 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 제품이 폐기되는 경우가 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 대부분의 일반적인 히터들도 문제를 일으킵니다. 이러한 히터들은 공기를 밀어내거나 미세한 오물을 발생시켜서, 원치 않는 곳에 그 오물들이 쌓이게 됩니다.
그래서 저희는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 복사열을 이용하기 때문에, 오염물질이 기판 위로 날아다니는 일이 없습니다. 따라서 깨끗하고 직접적인 열만이 전달됩니다.
제작 재료
저희는 불순물 함량이 극히 낮은 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 이 물질이 석영관이 뜨거워질 때 손상되는 것을 막아주기 때문입니다.
시간이 지남에 따라 산화되어 벗겨지는 금속 히터와 달리, 석영은 그대로 유지됩니다. 또한, 필라멘트가 제자리에 머물도록 진공 밀폐형 할로겐 회로를 사용합니다. 이 덕분에 램프의 수명이 훨씬 길어져서, 몇 주마다 청정실을 열어 램프를 교체할 필요가 없습니다. 그렇게 되면 오염 위험도 줄어듭니다.
작동 원리
이 램프들은 빠르게 가열되고 냉각됩니다. 아주 작은 공간 안에서도 많은 열이 생성됩니다. 복사열이기 때문에 열이 직접 작업물에 전달되어, 다른 장비들이 과열되는 것을 방지합니다.
정밀한 SCR을 사용하여 현재의 제어 시스템에 이 램프들을 연결하면, 온도를 정확하게 조절할 수 있습니다.
한 가지 팁: 건조 속도를 높이기 위해 와트수를 높일 때는 램프 홀더를 잘 확인해야 합니다. 너무 많은 에너지가 발생하면 램프 홀더가 손상될 수 있습니다. 그러니 램프 홀더가 그 열을 견딜 수 있는지 반드시 확인하세요.
제조 공정에 적용하기
아직도 구식 대류식 시스템을 사용하고 있다면, 이 램프들을 사용하는 것이 좋습니다.
IR 램프를 사용하면 가열 구역에 있는 HEPA 필터가 있는 분사기를 사용할 필요가 없습니다. 파이프라인도 더 간단해지고, 진공 챔버 내에서 고장날 수 있는 부품도 줄어듭니다. 그 결과 처리 속도도 빨라집니다.
이건 훨씬 더 깨끗한 작업 방식입니다.