防水红外线灯用于冲洗

在湿台上，冲洗引起的热梯度是安静的那种——悄悄消耗良率。标准加热器无法干净地干燥晶圆，留下边缘水珠或给光刻胶施加压力。当热均匀性漂移时，生产线就会停止。就是这样。 亚毫米级的红外加热热控制 我们为冲洗阶段设计的防水红外灯采用短波红外技术，因此热场控制精确至亚毫米级。发射器阵列经过调校，以实现快速响...