光刻胶软烘烤灯

在光刻工序中，所谓的“软烘烤”并非简单的预热步骤。实际上，它是一种关键的处理步骤：它能确保光刻胶的厚度保持稳定，去除其中的溶剂，同时为后续的工艺流程奠定基础。一旦照明灯的性能下降，很快就能察觉出来——比如在晶圆边缘出现不均匀现象，或者在不同区域出现温度差异，这些都会导致晶圆损坏，而此时检测系统还无...