晶圆加热的安全距离

在加热晶圆时，如何保持温度适中且确保安全？ 在化学清洗区域加热晶圆时，其实就像在走钢丝一样。需要足够的热量来完成加热任务，但若热量过大，则容易导致燃烧风险。在易燃溶剂附近使用普通红外线灯不仅危险，还会带来安全隐患。 为了解决这个问题，我们采取了两种方法：一是使用专门的封装结构，二是精确计算安全距离...