佳能平版印刷用加热灯管

在光刻车间里，要想实现精准的线宽控制，就必须严格控制光刻胶的烘烤过程——没有侥幸可言。在软烘或硬烘过程中，哪怕只有几度的偏差，也会立刻显现出来：曝光的精度会下降，芯片上的特征尺寸也会出现偏差。佳能的光刻加热器正是基于这一原理设计的。它能够精确控制温度，从而确保每一批产品的加工质量都符合标准。 关键...