半导体激光二极管加热器

在光刻工艺中，光阻烘烤环节绝不能马虎行事。在软烘或硬烘过程中，哪怕温度只有1℃的偏差，都可能影响到芯片的关键尺寸，进而破坏其侧壁结构。而当晶圆面临温度不均匀的情况时，就会导致成品率下降、需要重新加工，甚至整批产品都报废。我们设计的半导体激光二极管加热器能够将晶圆的温控精度控制在±0.1℃范围内，因...