扫描电子显微镜加热器

在SEM工作台上，样品台漂移或光刻胶烘烤曲线不稳定会悄无声息地降低良率。读数中看似微小的温度波动最终会导致线宽误差和充电伪影，这些问题会在数小时后显现。我们设计的红外SEM加热器正是为从根源消除这种漂移。 技术重点 我们采用短波红外辐射，在活跃区域内提供亚毫米级的热场，确保温度分布均匀。在实际应用...