顶级评级的RTP灯用于晶圆厂

在晶圆厂车间，热预算不是指导原则——而是硬性界限。软烘烤或硬烘烤温度偏差1℃，光刻胶形貌就会发生变化。关键尺寸（CD）控制偏移。叠加误差上升。不久后，生产线不再是区分良品和废品，而只是筛选问题。 核心关键点 我们采用短波卤素加热的RTP灯，通过石英窗组件直接将能量快速耦合到晶圆上，热惯性极低。这确...