CMP后的晶圆干燥加热器

在CMP处理之后，如果干燥过程出现偏差，残留的微小水滴就会变成缺陷。即使温度只上升1度，光刻胶的性能也会发生变化。如果在加热过程中还产生颗粒物，那么产品的良率就会下降。因此，需要确保温度控制在适当的范围内，并且保持环境的清洁。 关键所在 我们设计的加热器正是为了满足CMP处理后对温度控制的严格要求...