高效的晶圆加热器

杜绝玻璃碎片对晶圆的破坏：在灯管故障时保护晶圆清洁 在高负荷的半导体生产环境中，红外灯管突然爆炸无疑是一场灾难。当石英管损坏时，它不会只是停止工作，而是会爆炸。这样一来，玻璃碎片和化学物质就会溅到晶圆表面，导致晶圆受损。不仅产量会下降，甚至整个生产过程都会失败。 我们花了大量时间来研究如何提前避免...