Omgaan met lampproblemen tijdens het drogen van wafern
Wanneer je wafern op hoge snelheid droogt, is een kapotte lamp meer dan alleen een lastig probleem of wat vertragingen. Het is een nachtmerrie.
Als de kwartsbuis barst, komen er scherfjes glas en halogeenafzettingen terecht op het silicium. Hierdoor wordt je hele lading verwoest. Het is een chaos.
Daarom gebruiken we een speciaal veiligheidsreflekteersysteem. Dit systeem fungeert als een soort ‘verzekering’ voor je wafern.
Hoe het reflekteersysteem werkt
Deze reflectoren doen twee dingen tegelijk: ze sturen de infrarode energie naar waar die nodig is, en ze vormen ook een fysiek schild.
We gebruiken aluminium van hoge kwaliteit – meestal verguld of gepolijst tot een spiegelglad oppervlak – zodat er geen warmte verloren gaat. De vorm van de reflectoren is cruciaal: ze richten de hitte precies op het oppervlak van de wafer, terwijl de lampbuis goed beschermd blijft.
Als de lampbuis toch barst, vangt de reflector het grootste deel van de scherven op. Hierdoor kunnen deze scherven de productielijn niet beschadigen.
Het evenwicht in 24/7-productie
Wanneer je 24/7 producteert, kun je niet zomaar de sterkte van de lampen verhogen. Je moet rekening houden met de warmte die wordt gegenereerd; anders gaan de lampen te snel kapot.
We gebruiken behuizingen met ventilatie, zodat de lucht rondom de lampbuis kan circuleren. Er is echter een compromis: als je de reflectiehoek vermindert, worden de wafern sneller gedroogd. Maar dit zorgt er ook voor dat de lampbuis nog heter wordt. Als je de vermogen van de lampen verhoogt zonder de ventilatie te verbeteren, verkort je de levensduur van de lampen. Het is een delicate balans.
Zorgen dat alles blijft werken
Niemand wil urenlang bezig zijn met het herstellen van de optische route, alleen maar om een gloeilamp te vervangen. Daarom hebben we vervangende lampen ontworpen. Je vervangt gewoon de lamp en kunt weer verder werken. Dit zorgt er bovendien voor dat er minder kans is dat iemand de instellingen verkeerd instelt tijdens nachtelijke onderhoudswerkzaamheden.
Een tip: controleer elke zes maanden of het oppervlak van de reflector nog glad is. Als het oppervlak mat wordt, neemt de hitteproductie af. De lampen moeten dan harder werken om dezelfde resultaten te bereiken, waardoor hun levensduur korter wordt. Houd het oppervlak dus glad, zodat de lampen blijven werken.