Bij het drogen van siliconenplaten is het niet genoeg om ze gewoon in een doos te plaatsen en ze te laten drogen. Het gaat om de laatste stap in het proces, voordat de structuur van de plaat definitief vastligt. Als er zelfs maar een beetje vocht achterblijft, of als de temperatuur tijdens het drogen niet stabiel blijft, kan dat leiden tot problemen als oneffenheden op het oppervlak van de plaat of afwijkingen in de afmetingen. De lamp die wordt gebruikt voor het drogen van zonnecelplaten, is ontworpen om deze problemen te voorkomen.
Wat er echt toe doet We maken gebruik van NIR-emitters om energie snel en rechtstreeks naar de plaat te sturen. Dit vermindert de vertragingen in de warmteoverdracht en houdt het processtabiel. Het systeem zorgt ervoor dat de temperatuur over het actieve gebied van de plaat binnen ±0,1°C blijft. Hierdoor blijven de cruciale parameters constant, batch na batch. De compatibiliteit met schone ruimtes is ook belangrijk: er zijn geen deeltjesontstaan door de lamp, en het kwartsreflectorcomplex zorgt er voor dat er geen gassen vrijkomen die de fotorezist kunnen beïnvloeden. De uitgangssnelheid van de lamp blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsafwijkingen. Dit betekent minder herverificaties en minder onverwachte stilstandtijden.
Waarom het geschikt is voor zonnecelfabrieken In zonnecelfabrieken waar lithografie wordt gebruikt, kan de lamp direct worden ingezet in het droogingsproces, zonder dat er iets aan de procedure hoeft te worden veranderd. Een betere thermische controle verkort de tijd die nodig is om het proces af te ronden, reduceert afval en herwerkingswerkzaamheden, en zorgt ervoor dat het proces soepel verloopt. De efficiëntie van de NIR-emitter en de precieze controle over de tijd die de straal op de plaat staat, helpen bij het besparen van energie. Bovendien zorgt de lange levensduur van de emitter voor minder onderhoudskosten. Het resultaat is een proces dat stabiel is: de fotorezist werkt consequent, de afmetingen blijven voorspelbaar, en er zijn minder problemen die te maken hebben met het drogen van de plaat.
Het nadeel is dat NIR-droging alleen werkt wanneer er een direct zichtlijn is tussen de lamp en de plaat. Hierdoor moeten de geometrie van de plaat en eventuele obstakels in het systeem rekening worden gehouden bij het ontwerp van de apparatuur. Na kalibratie kan het systeem met minimale aanpassingen blijven werken. Maar juist deze voorbereiding zorgt voor de gewenste uniformiteit van ±0,1°C in de productie.