Op de lithografielijn weten we allebei dat de bakprocessen niet alleen te maken hebben met warmte – ze zijn ook belangrijk voor het behouden van een hoge kwaliteit van de producten. Een verschil van 2°C tijdens het zachte bakproces heeft meteen invloed op de kwaliteit van het product. Een hotspot tijdens het harde bakproces veroorzaakt echter grote schade aan de kwaliteit van het product. We hebben de Controlled Atmosphere Bake Lamp ontwikkeld om deze variabiliteiten weg te nemen.
Wat er belangrijk is onder de motorkap
De lamp gebruikt kortegolfig infraroodlicht in een kwartsomhulsel. Hierdoor wordt er snel en gelijkmatig warmte gegenereerd, zonder dat er overtollige warmte wordt gegenereerd. In de bakzone houden we de temperatuur op een niveau van ±0,1°C. We controleren ook de herhaalbaarheid van het proces per batch, niet alleen per keer dat het proces wordt uitgevoerd. De atmosfeer is afgesloten en gecontroleerd, zodat de temperatuurconsistent blijft, ongeacht of er N₂, droge lucht of een mengsel van zuurstof wordt gebruikt.
De reinheid van de ruimte waarin de lamp wordt gebruikt, is vanaf het begin goed geregeld: het systeem werkt in klasse 1–100, met geen enkele vorm van stofontwikkeling door de lamp. Het thermische systeem is ontworpen om 24/7 te kunnen werken. We monitoren de stabiliteit van de uitvoering van het proces gedurende meer dan 5.000 uur.
Waarom dit nuttig is bij het verwerken van fotoresistenten
De nauwkeurigheid van de temperatuur is cruciaal voor het voorkomen van fouten tijdens het proces. Hierdoor wordt de kwaliteit van het product verbeterd en komen er minder defecten voor. De dikte van de laag die wordt gevormd, blijft ook consistent na het bakproces. Het proces kan beter worden beheerd, omdat er geen problemen meer zijn veroorzaakt door verschillende temperaturen in het product.
Ook de energieverbruik neemt af: de gewenste temperatuur wordt snel bereikt en blijft daarna constant. Bovendien wordt er minder tijd verloren door onverwachte problemen met de lamp. De vervanging van de lamp kan op basis van gegevens worden gepland, in plaats van op intuïtie.
Wat je moet planningen
De lamp heeft een aparte stroomvoorziening en gaslevering nodig, die passen bij de afmetingen en het aansluitpunt van de lamp. De installatie is eenvoudig, maar je moet de instellingen steeds opnieuw controleren wanneer je de grootte van de chip, de chemie van de fotoresistent of de bakprocedure verandert. Er zal ook wat tijd nodig zijn om de instellingen vast te stellen en de uniformiteit van het product te controleren.