Stop de scherven: houd je wafers schoon tijdens IR-droging
Als je MEMS-sensorproductie uitvoert, weet je dat de droogingsfase een risicovolle fase is waarin alles snel mis kan gaan.
Stel je voor: een infraroodlamp breekt onder zware belasting. Plotseling vallen er glasfragmenten en tungstfijnen op je wafers. Het is een nachtmerrie. Eén gebroken lamp beschadigt niet alleen één onderdeel; het vernietigt zelfs de hele lading.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Waarom lampen eigenlijk falen
Meestal komt het door thermische spanningen of onzuiverheden in het kwarts. Om dit op te lossen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit zorgt er namelijk voor dat de hitte gelijkmatig over de buis wordt verspreid.
We letten ook goed op de positie van de fijn. Als deze zelfs maar iets scheef zit, ontstaan er ‘ hete plekken’. Hier wordt het kwarts zwakker en uiteindelijk breekt het.
Een veiligheidsnetwerk creëren
Om vuil weg te houden van je wafers, rekenen we niet alleen op het beste. We gebruiken een beschermende kwartslaag of een hittebestendige coating. Dit fungeert als een fysiek schild. Als de halogeenlamp binnenin kapotgaat, vangt de buitenste laag alles op. Het vuil blijft dan binnenin de buis, zodat je wafers schoon blijven.
Ook de uiteinden zijn belangrijk. We gebruiken versterkte uiteinden en connectors die goed passen. Dit voorkomt elektrische bogen. Elektrische bogen zijn gevaarlijk: ze kunnen de lamp beschadigen en metalen stof verspreiden in de droogingskamer.
Het evenwicht vinden
Hoge dichtheidse IR-verwarming is altijd een compromis. Je kunt de vermogenssterkte verhogen om sneller te drogen. Maar dat zet het kwarts onder meer druk. Hier komen de koelventilatoren om de hoek kijken. Ze moeten in staat zijn om de hitte te verdrijven. Als de luchtcirculatie te zwak is, ontstaat er te veel hitte bij de aansluitingen, waardoor de lampen eerder kapotgaan dan nodig is.
We bouwen deze apparaten voor 24/7 productieomgevingen. Op die manier krijg je de benodigde IR-output, en nog belangrijker: je behoudt een hoge productiegraad, omdat vuil geen invloed heeft op het proces.