На поверхні платформи для літографії ми обидва знаємо, що процес висушування не є просто термічним процесом – це також фактор, який впливає на якість продукту. Зміна температури на 2°C під час процедури м’якого висушування відразу ж призводить до зміни значень CDU. А якщо йдеться про процедуру жорсткого висушування? Це справжній „убивця“ якості – вона спричиняє втрату якості продукту прямо на рівні пластини. Ми створили лампу для контрольованого висушування, щоб усунути цю невизначеність.
Що є важливим у цьому процесі
Лампа використовує короткочастотне інфрачервоне світло в кварцовій оболонці; це дозволяє досягти швидкого нагрівання поверхні без перегріву. У всій зоні висушування ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C. Крім того, ми контролюємо повторюваність результатів для кожної партії продукції, а не лише для кожного окремого процесу. Атмосфера в приміщенні контролюється, тож профіль висушування залишається стабільним незалежно від того, чи використовується N₂, сухе повітря чи суміш з зниженим вмістом кисню.
Від самого початку передбачено створення чистого простору для роботи: робота в класі 1–100, без утворення частинок від самої лампи – це підтверджується контролем кількості частинок у процесі роботи. Термічна система розрахована на круглосуточну роботу, а ми контролюємо стабільність її роботи протягом 5 000+ годин.
Чому це важливо для обробки фотополімерів
Точність температури є ключовим фактором для отримання якісного продукту. Це дозволяє краще контролювати параметри CDU, зменшувати кількість дефектів, а також забезпечувати стабільну товщину шару після процедури висушування. Процес стає більш простим, оскільки термічні умови більше не є проблемою.
Крім того, зменшується споживання енергії – температура швидко досягає необхідного рівня та залишається стабільною без коливань. Також зменшується час простою, оскільки лампа працює без несподіваних перебоїв; заміна модуля відбувається на основі даних, а не інтуїції.
Що потрібно врахувати під час планування
Лампі потрібен окремий джерело живлення та постачання газу, які повинні відповідати розмірам та інтерфейсу пристрою. Встановлення є простим, але необхідно перевіряти параметри процедури висушування щоразу, коли змінюється розмір пластини, хімічний склад фотополімеру чи сама процедура висушування. Потрібен короткий період на налаштування параметрів та підтвердження однорідності параметрів для всіх видів продукції.