На ділянці передового пакування тепловий бюджет надзвичайно вузький. Коливання температури на 2°C під час випікання фоторезисту може змінити критичні розміри, а вартість повторної обробки вимірюється кількістю списаних пластин. Ми розробили цю інфрачервону лампу, щоб забезпечити стабільність теплового режиму — у межах специфікації, цикл за циклом.
Що важливо під капотом
Вона використовує випромінювачі ближнього інфрачервоного діапазону (NIR) для швидкого прямого нагріву з відгуком менше секунди. По всій зоні випікання однорідність температури на рівні пластини утримується в межах ±0,1°C, тому профілі soft bake і hard bake залишаються повторюваними лот за лотом. Відповідає вимогам чистої кімнати класу 1–100, не генерує частинок і має герметичний корпус з низьким рівнем виділення газів. Потужність випромінювання стабільна понад 5 000 годин з дрейфом інтенсивності менше 5%, що забезпечує постійність теплового бюджету в усіх шарах літографії.
Чому ця лампа виправдовує себе в пакуванні
Ритм роботи незмінний: нанесення фоторезисту, soft bake, експонування, проявлення, hard bake, потім травлення. Лампа точно підтримує температуру випікання, що зменшує варіації ширини ліній і утворення дефектів, які виникають при недостатньому випіканні резисту. Швидкий підйом температури скорочує час циклу без втрати контролю профілю, а також зменшує енергоспоживання, оскільки нагрівається безпосередньо пластина, а не камера. Менше відхилень, менше браку, і стабільна пропускна здатність.
Декілька практичних зауважень
Лампа інтегрується у наявні транспортні лінії, але потрібно точно вирівняти зону випромінювання по траєкторії руху пластини. Проведіть коротку кваліфікацію для затвердження рецептів soft bake і hard bake, а також перевірте, щоб потік охолоджувального повітря не перевищував межі відведення. Після налаштування дотримуйтеся графіка профілактичного обслуговування — чистота відбивачів і калібрування температури мають залишатися в межах специфікації.