На етапі літографії процедура „м’якого випалювання“ ніколи не є просто способом підготовки обладнання. Це умова, яка дозволяє фіксувати параметри фоточутливої плівки, видаляти розчинники та забезпечувати контроль товщини ліній на поверхні пластини перед подальшими операціями. Коли лампа починає погано працювати, це швидко стає помітним – з’являються нерівності на краях пластини, а також інші проблеми, які можуть пошкодити пластину ще до того, як метрологічні пристрої виявлять ці проблеми. Ми розробили лампу для „м’якого випалювання“, яка допомагає усунути ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо галогенне джерело короткохвильового світла, розташоване всередині кварцового корпусу. Це дозволяє досягти швидкого та локального нагрівання при мінімальній тепловій інерції. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також можливість повторюваного нагрівання. Конструкція лампи дозволяє її використання в чистих приміщеннях класу 1–100, оскільки вона забезпечує мінімальний вивільнення газів та відсутність утворення частинок під час роботи. Це забезпечує надійну роботу протягом 24/7 без неспланованих перерв, а також стабільну продуктивність протягом понад 5 000 годин із відхиленням інтенсивності світла менше 5%.
Важливо, щоб процедура „м’якого випалювання“ завжди відбувалась за однакових умов. Якщо це не так, фоточутлива плівка не буде рівномірно нагріватися, що призведе до відхилень у процесі експозиції та обробки пластини. Лампа стабілізує процес, що дозволяє зменшити кількість повторних операцій, скоротити час виконання завдань та зберегти високий рівень продуктивності.
Використання енергії контролюється завдяки тому, що лампа швидко досягає заданої температури та підтримує її без перевищення. Крім того, завдяки тривалому терміну служби лампи зменшується кількість замін, менше часу припиняється робота обладнання, а також зменшується кількість запасних частин.
Під час встановлення необхідно забезпечити відповідність геометрії відбивача тепловому профілю станції випалювання. Після заміни лампи необхідно провести коротку перевірку, щоб переконатися, що кабелі та кріплення витримують напругу та струм, необхідні для роботи лампи.
Кварцовий корпус слід вважати витратним матеріалом – його потрібно оберігати від забруднень, щоб поверхня пластини залишалась чистою, а процес випалювання відбувався без перешкод.