Mengurangkan Bil Tenaga (dan Pelepasan Karbon) dalam Proses Pembuatan Wafer
Sejujurnya, kilang-kilang semikonduktor merupakan pengguna tenaga yang sangat besar. Jika anda ingin mengurangkan jejak karbon anda, anda perlu memikirkan cara untuk memanaskan wafer tersebut dengan lebih efisien.
Untuk waktu yang lama, kita bergantung pada pemanas jenis resistif. Masalahnya ialah pemanas ini akan memanaskan seluruh bilik tersebut hanya untuk memanaskan wafer. Ini merupakan pembaziran tenaga. Itulah sebabnya kita beralih kepada penggunaan lampu pemanas jenis IR. Lampu IR ini akan mengarahkan tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Cara ini lebih cepat dan efisien. Selain itu, ia juga mengelakkan pembaziran tenaga pada bahagian yang tidak perlu dipanaskan.
Cara untuk menjadikan sistem ini berfungsi dengan baik
Anda tidak boleh sekadar mematikan suis lampu IR dan beredar begitu saja. Anda memerlukan sistem maklum balas yang efektif, agar segalanya berjalan lancar. Biasanya, lampu IR ini digunakan bersama-sama dengan alat pengukur suhu jenis non-contact. Alat ini memantau suhu wafer secara masa nyata. Jika alat pengukur ini gagal berfungsi walaupun untuk seketika, ia boleh menyebabkan wafer menjadi terlalu panas atau tidak sekata. Ini merupakan cabaran yang perlu diatasi. Kita perlu membina sistem yang mampu menangani perubahan suhu yang cepat, tetapi sambil memastikan filamen lampu tidak rosak.
Kompromi yang perlu diketahui
Semua orang ingin memiliki “kilang hijau”, tetapi ini biasanya bermakna kita perlu menggunakan tenaga yang lebih banyak untuk mempercepatkan proses pembuatan wafer. Saya lebih suka menggunakan lampu IR gelombang pendek. Lampu ini mampu meresap ke dalam wafer dengan lebih baik berbanding lampu gelombang sederhana. Dengan cara ini, suhu keseluruhan bilik dapat dikekalkan pada tahap yang rendah, sementara wafer tetap berada di tempat yang sepatutnya.
Namun, ada masalahnya. Apabila intensiti haba ditingkatkan, sistem bekalan tenaga dan sistem penyejukan akan tertekan. Jika anda ingin mencapai tahap pengeluaran yang maksimum, pastikan sistem penyejukan anda cukup kuat untuk menangani haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, anda hanya menukar satu masalah dengan masalah yang lain.
Mengapa ini penting
Pada akhirnya, penggunaan lampu IR dapat mengurangkan penggunaan tenaga yang tidak perlu. Daripada memanaskan keseluruhan struktur alat tersebut, tenaga tersebut digunakan secara tepat di tempat yang diperlukan. Ini akan mengurangkan penggunaan tenaga per wafer secara signifikan. Cukuplah gunakan sensor IR yang telah disesuaikan dengan betul, serta pengawal PID yang tepat, agar tenaga tidak dibazirkan. Dengan cara ini, proses pemanasan akan menjadi lebih efisien.