Hentikan serpihan yang boleh merosakkan wafer anda semasa proses pengeringan menggunakan cahaya inframerah
Jika anda menghasilkan sensor MEMS, anda pasti tahu bahawa fasa pengeringan merupakan masa di mana segala-galanya boleh menjadi kacau. Bayangkan ini: lampu inframerah meletup akibat beban yang berlebihan. Tiba-tiba, serpihan kaca dan filamen tungsten jatuh ke atas wafer anda. Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Satu letupan sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut.
Kami telah meluangkan banyak masa untuk mencari cara untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku.
Sebab lampu gagal
Biasanya, masalah ini disebabkan oleh tekanan haba atau kekotoran dalam kristal kuarsa. Untuk menyelesaikan masalah ini, kami menggunakan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi. Ini membantu memastikan haba tersebar secara merata di seluruh tiub.
Kami juga sangat memperhatikan kedudukan filamen tersebut. Jika filamen tersebut tidak berada pada kedudukan yang betul, ia akan menyebabkan “titik panas”. Di sinilah kuarsa menjadi lemah, dan akhirnya rosak sepenuhnya.
Membina lapisan perlindungan
Untuk mengelakkan serpihan daripada merosakkan wafer, kami tidak hanya bergantung pada nasib semata-mata. Kami menggunakan lapisan pelindung atau lapisan yang tahan pecah. Ini umpama perisai fizikal yang melindungi wafer anda. Jika lampu halogen di dalamnya gagal, lapisan luar akan menangkap semua serpihan tersebut. Dengan cara ini, wafer anda tetap bersih.
Selain itu, kami juga menggunakan penutup hujung yang kukuh serta sambungan yang sesuai. Ini dapat mencegah berlakunya percikan elektrik. Percikan elektrik bukan sahaja merosakkan lampu, tetapi juga menyebabkan debu logam tersebar di seluruh bilik pengeringan.
Keseimbangan antara prestasi dan keselamatan
Penggunaan haba inframerah yang tinggi memerlukan keseimbangan tertentu. Ya, anda boleh meningkatkan kuasa lampu untuk mempercepatkan proses pengeringan. Namun, ini akan membuat kuarsa semakin dekat dengan titik kegagalan.
Inilah sebabnya mengapa kipas penyejuk sangat penting. Anda perlu memastikan kipas tersebut mampu menangani haba yang dihasilkan. Jika aliran udara terlalu lemah, haba akan terkumpul di bahagian penyambung, dan lampu akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Kami membina peranti ini untuk digunakan 24/7. Dengan cara ini, anda akan mendapat output inframerah yang diperlukan, dan yang lebih penting, kualiti wafer anda akan tetap tinggi kerana serpihan tidak akan memasuki proses pengeluaran.