쇄편을 막아라: IR 건조 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
MEMS 센서를 생산하는 사람이라면, 건조 단계가 가장 위험한 순간이라는 것을 잘 알고 있을 것입니다.
상상해보세요: 적외선 램프가 과부하에 의해 파손됩니다. 그러면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 하나의 램프만 파손되어도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다.
우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
램프가 왜 고장 나는가?
보통은 열응력이나 석영 내의 불순물 때문입니다. 이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이를 통해 열이 튜브 전체에 고르게 분배됩니다.
또한 필라멘트의 위치도 매우 중요합니다. 필라멘트가 조금이라도 비뚤어지면 ‘열점’이 생깁니다. 그곳에서 석영이 약해져 결국 파손됩니다.
안전 장치를 마련하라
웨이퍼를 오염으로부터 보호하기 위해, 우리는 단순히 최선을 기대하는 것에 그치지 않습니다. 보호용 석영 커버나 내충격 코팅을 추가합니다. 이는 마치 물리적인 방패와 같습니다. 만약 내부의 할로겐 램프가 고장 나더라도, 외부 케이스가 모든 것을 받아줍니다. 그래서 웨이퍼는 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
또한 램프의 양쪽 끝 부분도 중요합니다. 우리는 강화된 엔드캡과 연결부를 사용하여 전기 아크 현상을 방지합니다. 전기 아크 현상은 램프를 파괴할 뿐만 아니라 금속 입자들을 건조실 곳곳에 퍼뜨립니다.
균형을 맞추는 것이 중요하다
고밀도 IR 가열은 항상 타협이 필요합니다. 물론, 더 빠르게 건조시키기 위해 출력을 높일 수는 있습니다. 하지만 그렇게 되면 석영이 파손될 가능성이 높아집니다.
이때 바로 냉각 팬이 필요합니다. 냉각 팬이 충분한 성능을 발휘해야만, 램프가 너무 빨리 고장나는 것을 막을 수 있습니다.
우리는 24/7 가동되는 공장 환경을 고려하여 이러한 장비들을 설계합니다. 그렇게 함으로써 필요한 IR 출력을 얻을 수 있으며, 무엇보다도 웨이퍼가 오염되는 것을 막아 생산 효율을 높일 수 있습니다.