주사 전자 현미경(SEM) 히터

SEM 현장에서의 드리프트 샘플 스테이지 또는 불안정한 포토레지스트 베이크 프로파일은 조용히 수율을 감소시킵니다. 판독기에서 작아 보이는 온도 변동이 시간이 지나면서 선 폭 오류와 충전 아티팩트로 변해 나타납니다. 우리는 이러한 드리프트를 근본적으로 해결하기 위해 적...