완벽한 청결 유지: 오염 없는 가열 방식
먼지 한 알만 있어도 문제가 되는 클린룸을 상상해 보세요. 이것이 바로 반도체 제조 공정의 현실입니다.
따라서 그러한 환경에서 열이 필요할 때, 히터 자체가 문제의 원인이 되어서는 안 됩니다. 바로 이런 이유로 우리는 석영 적외선 램프를 완전히 밀폐된 구조로 설계했습니다. 이 램프는 단 하나의 먼지 입자도 배출하지 않으며, 가스도 발생시키지 않습니다.
실제 기계에 맞춰 설계된 전력과 크기
우리는 이 램프들을 좁은 공간에도 잘 맞도록, 그리고 기존에 사용 중인 장비와도 호환되도록 설계했습니다. 일반적인 램프는 400V, 2500W의 출력을 내며, 300mm 크기의 튜브 안에 들어 있습니다.
이를 통해 작은 공간에서도 충분한 열을 얻을 수 있으므로, 공정에 필요한 경우 빠르게 온도를 높일 수 있습니다. 400V라는 전압은 우연한 것이 아닙니다. 이는 램프가 표준 산업용 전원에 직접 연결될 수 있음을 의미하며, 따라서 별도의 변압기를 사용할 필요가 없습니다.
클린룸급 품질의 핵심 부품
램프의 핵심 부품은 고순도 석영입니다. 금속과 달리 석영은 극단적인 고온에서도 화학적으로 안정적이므로 산화되거나 먼지가 생기지 않습니다.
내부에는 단파 적외선 필라멘트가 있어 빠르고 정확한 에너지를 방출합니다. 또한, 램프 전체가 특수한 R7s 커넥터로 밀폐되어 있어 램프가 흔들리지 않고 석영이 깨지는 것을 방지합니다.
반도체 제조에 최적화된 솔루션
반도체 가열에 있어서는 온도를 정밀하게 제어할 수 있는 깨끗하고 간단한 대체재가 필요합니다. 석영은 열충격에 잘 견디므로, 대량 생산 과정에서 요구되는 빠른 점등/꺼짐 주기에도 문제가 없습니다.
또한 적외선은 주변의 공기를 따뜻하게 하는 대신 목표물을 직접 가열하기 때문에 공기의 움직임이 줄어들어 먼지가 생기는 것을 막을 수 있습니다.
이러한 높은 에너지 밀도 덕분에 300mm 크기의 공간 안에도 충분한 에너지가 담길 수 있습니다. 따라서 기계의 냉각 및 열 관리 시스템도 효과적으로 작동해야 합니다. 이렇게 해서 우리는 열을 원하는 곳에 정확하게 전달하고, 오염물질이 그 곳에 접근하지 못하도록 할 수 있습니다.