전력을 제자리에 두는 것: 반도체 히터의 배선 방식
반도체 제조 과정에서 전기 누설은 치명적인 문제입니다. 이러한 상황은 절대 용납될 수 없습니다.
그래서 우리는 히터 어셈블리에 테플론(PTFE) 코팅된 배선을 사용합니다. 이 재질은 열을 견딜 수 있을 뿐만 아니라, 클린룸을 망칠 수 있는 유해 가스도 발생시키지 않습니다. 하지만 솔직히 말해서, 이 재질만으로는 충분하지 않습니다.
우리 공장에서 나가는 모든 전선은 반드시 전압 내성 및 절연 저항 테스트를 거쳐야 합니다. 예외는 없습니다.
“단순 점검”을 하지 않는 이유
절연체에 아주 작은 구멍이 생기기만 해도 전류가 직접 체스트 쪽으로 흘러 들어갈 수 있습니다. 이로 인해 차단기가 작동할 뿐만 아니라, 웨이퍼 전체가 망가질 수도 있습니다.
이런 일을 막기 위해 우리는 배선을 그에 맞는 정격 전압 한계까지 사용합니다. 절연체의 강도가 실제로 얼마나 우수한지 확인해야 합니다. 만약 전선이 테스트에 실패하면, 그 전선은 폐기됩니다. 단순히 몇 개의 샘플만 테스트해서는 안 됩니다.
PTFE를 사용하는 현실
테플론은 PVC나 실리콘과 달리 안정적인 성능을 보여주므로 최고의 선택입니다. 표면이 매끄럽고 화학물질에도 잘 견디며, 벽이 얇아서 전체 크기도 작습니다.
하지만 단점도 있습니다. PTFE는 실리콘보다 더 딱딱합니다. 만약 히터 설계에서 반복적인 굽힘이 필요하다면, 굽힘 반경을 신중히 고려해야 합니다. 너무 세게 굽히면 전선에 스트레스가 가해집니다.
시스템에 연결할 때
이러한 전선들을 장비에 연결할 때, 절연 저항이 전류가 히팅 요소 내부에만 머물도록 해줍니다. 이를 통해 센서의 센서 데이터가 오작동하는 것을 방지할 수 있습니다.
우리는 절연체가 열 변화로 인해 손상되지 않도록 테스트를 합니다. 전선들은 팽창하고 수축하며 열을 받으므로, 압력을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다.
또 한 가지 팁: 전원 공급 장치가 히터의 누설 전류에 맞게 설정되어 있는지 확인하세요. 그렇지 않으면 여러 문제가 생길 수 있습니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.