クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で基材を加熱するときは、ミスの余地は一切ありません。わずかなほこりやガスの発生だけでも、製品全体が台無しになってしまいます。
問題は、一般的な赤外線ランプは少し汚れやすいという点です。加熱されると、微細な粉塵が飛び散ったり、有害な揮発性有機化合物（VOC）が放出されたりします。そうした問題を解決するために、私たちは超高純度の合成石英を使用しています。
なぜ合成石英が重要か
天然の石英は、高温になると表面に金属不純物が移動してしまいます。これはまるでランプが「煙を出している」ようなもので、ウェーハにとっては大敵です。
これを防ぐため、私たちのUHPランプは、あらゆる不純物を取り除くための厳しい化学処理を経ています。このランプを使用すれば、汚染なしに強力な熱を得ることができます。レンズもクリアなままで、ウェーハも汚れることがありません。
鍵はシール部分にある
ほとんどのランプはシール部分が壊れてしまいます。多くのメーカーは有機系接着剤や安価な接着剤を使用していますが、これらは動作温度に達するとすぐにガスを放出してしまいます。
私たちはそうしません。代わりに、高温用のガラスと金属のシールを使用しています。これにより、ハロゲンガスが管内に閉じ込められ、外部の影響から守られます。また、既存のラックに合わせてコネクタの形状を調整することも可能ですが、本当の魔法は内部の化学処理にあります。
いくつか注意点
UHP石英は化学的には安定していますが、表面の油分には非常に敏感です。
設置時に誰かが素手でランプに触れると、皮膚からの塩分や油分が「ホットスポット」を作り出し、それが熱応力の原因となり、最終的にランプが破損してしまいます。これは避けたい問題です。必ず、フリーの手袋を着用し、イソプロピルアルコールで清掃してください。
また、冷却機能にも注意が必要です。このランプは高精度のため、エネルギーの流れが非常に強烈です。冷却ファンや水冷装置をしっかり確認しておきましょう。もしケースが過熱すると、大変な問題になります。