シャードの発生を防ぎ、ウェーハを安全に守る
大量生産の環境では、ランプが故障すると、単なる面倒事や短時間の停止にとどまらず、大惨事につながります。石英管が破裂すると、ただの消えた電球以上の問題が起こります。ガラスの破片や金属の微粒子がウェーハの上に散乱してしまうのです。
これは決して許されない被害です。だからこそ、私たちはクリーンルーム用の赤外線ランプを開発し、そのようなトラブルが起こる前に防ぐのです。
混乱を防ぐために
加熱要素としては、高純度の融成石英を使用しています。これは熱に強いからです。しかし、実際には電圧の急上昇が起こったり、ランプが最終的に壊れてしまったりします。その時、激しく燃え尽きてしまう可能性があります。
これを防ぐために、ランプを耐衝撃性のあるケースで包みます。これは安全ネットのようなものです。内部のランプが破裂しても、外部のケースがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、シリコンウェーハが汚れることはなく、クリーンルームを掃除する手間も省けます。
熱と電力に関する詳細
クリーンルーム内のスペースは通常狭いため、ワット数と長さのバランスを慎重に調整しています。目的は簡単です。ウェーハに熱を与えるだけで、クリーンルームの構造部分に熱が伝わらないようにするのです。
また、アーク現象を防ぐために、コネクタも強化しています。端子から火花が出ると、熱点が生じ、それによって石英管が破損してしまいます。アーク現象を防げば、ランプを長持ちさせることができます。
注意すべき点
高強度の赤外線ランプは、多量の電流が必要です。そのため、接続部分がすぐに熱くなります。配線がその電流に耐えられない場合、絶縁体が溶けてしまう危険があります。また、冷却システムも重要です。高ワット数のランプの熱負荷に対応できなければ、ランプは早く壊れてしまいます。
日常の作業に組み込む方法
これらのランプは、既存のクリーンルーム用ベンチに直接取り付けられるように設計されています。特別な準備は不要です。
また、振動を防ぐために、機械的な部品にも細心の注意を払っています。一見小さな問題のように思えますが、振動が続くと石英管に微細なひび割れが生じます。管を安定させることで、ランプの寿命が延び、クリーンルームも常に清潔な状態を保てます。