MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター

破片の発生を防ぐ：IR乾燥処理中にウェーハを清潔に保つ方法 MEMSセンサーの製造を行っている人なら、乾燥工程が最も問題が起こりやすい段階だということはご存知でしょう。 想像してみてください：赤外線ランプが過度な負荷を受けて破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎます...