電力を適切な場所に留める：半導体ヒーターの配線について
半導体製造においては、電気漏れは大きな問題です。そんなことは許されません。
そのため、私たちはヒーターアセンブリにテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。この材料は高温に耐えられ、クリーンルームを台無しにするような有害なガスも放出しません。しかし正直なところ、素材自体が問題を解決する唯一の手段ではありません。
私たちの工場から出荷されるすべての配線は、完全な耐電圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。
なぜ「抜き打ち検査」をしないのか
実は、絶縁体に微細な穴があるだけで、シャーシに直接短絡が起こってしまいます。それによりブレーカーが作動するだけでなく、ウェーハ全体がダメになってしまいます。
これを防ぐために、私たちは配線をその定格電圧の限界まで耐えられるようにします。誘電強度が本当に十分かどうかを確認するのです。もし配線がヒップot試験に合格しなければ、それは廃棄されます。単に数点だけをテストしてうまくいくことを願うのではありません。
PTFEを使用する際の現実
テフロンは、PVCやシリコンが燃えてしまうのに対し、安定した性能を持っているため、最適な材料です。滑らかで化学薬品にも強く、また壁が薄いため、全体のサイズも小さくなります。
しかし、デメリットもあります。PTFEはシリコンよりも硬いのです。もしヒーターの設計で頻繁に曲げる必要がある場合は、曲げ半径に注意する必要があります。あまりにも強く曲げると、導体に負荷がかかります。
システムに組み込む際の注意点
これらの配線を機器に接続する際、その絶縁抵抗が、加熱要素内の電流を維持する役割を果たします。これにより、敏感なセンサーの読み値を乱すような不要な漏れ電流を防ぎます。
私たちは誘電破壊を防ぐためにテストを行います。なぜなら、これらの配線は熱サイクルによって大きな負荷を受けるからです。配線は膨張したり収縮したりし、熱くなります。私たちは、圧力の下で配線が割れないようにする必要があります。
補足：電源装置の選び方
ヒーターアレイの漏れ電流に対応できる電源装置を使用することが重要です。そうでなければ、頻繁にブレーカーが作動してしまい、誰もそれを望みません。