バイオセンサー装置の過熱を防ぎましょう。
バイオセンサーを製造する際には、正確な加熱が重要です。もし一般的な赤外線ランプを使用している場合、その熱があらゆる方向に放出されてしまうことに気づくでしょう。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。
問題は、ウェーハを加熱しようとしている間に、装置内部も同時に過熱してしまうことです。キャビネットの壁面が過度に熱くなると、電子機器が破損したり、最悪の場合、作業員が火傷を負う可能性もあります。本当に厄介な状況です。
解決策は、方向性を考慮することです。
あらゆる方向に熱が漏れ出す単純な石英管の代わりに、反射板や選択的な発光体を使用します。これは、通常の電球の代わりに懐中電灯を使うようなものです。赤外線エネルギーを必要な場所にだけ集中させるのです。
その結果、装置のケースが巨大なヒートシンクのように機能しなくなります。これにより、装置の動作が大幅に改善されます。チャンバー全体をオーブンのようにしてしまうことなく、迅速に温度を上昇させることができます。また、冷却ファンも、外殻が危険にならないように100％の速度で回転し続ける必要がなくなります。
しかし、注意点もあります。
方向性を持った加熱でも、完璧な解決策ではありません。光を集中させるため、焦点付近の熱密度は非常に高くなります。もしランプの位置が数ミリメートルでもずれていると、基板に熱点ができてしまいます。
この場合、ハードウェアの設置には細心の注意が必要です。取り付けブラケットはしっかりと固定されていなければなりません。
また、PIDコントローラーや高速応答型の熱電対を併用することをお勧めします。そうすれば、最初の加熱時に温度が上昇しすぎるのを防げます。
そして、既存のラインにこれを導入する場合は、まず反射板の位置を確認してください。もし反射板が歪んでいると、熱が壁に直接向けられてしまい、本来の効果が得られません。