半導体製造装置内での熱の無駄遣いを止めましょう。
もし、高ワット数の硬化ランプを製造装置内で使用したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。物理学の法則上、標準的なランプからは熱が360度全方向に放出されます。
狭いスペースで作業を行っている場合、これは大きな問題です。エネルギーの半分がウェーハではなく、装置の内壁に当たってしまいます。結果として、装置のシャーシ自体が巨大な放熱器になってしまいます。外壁の温度は非常に高くなり、作業員が火傷することもあります。また、冷却システムも過剰に稼働しなければなりません。本当に大変です。
より良い解決策
この問題を解決するために、反射器や特定の波長調整機能を備えた認定済みのIR硬化ランプを使用します。そうすれば、熱があちこちに散らばるのを防ぎ、集中して光線を送ることができます。
目的は簡単です：光子を直接ウェーハや硬化剤に当てることです。単に出力を上げるだけでなく、熱を適切な場所に向けるのです。
安全性と長期的な観点
壁を加熱しなくなれば、いくつか良いことがあります。まず、装置のケース自体が冷たいままでいられます。急な点検時に誰かが熱いシャーシに触れる心配もありません。
さらに、工場の空調や装置内のファンも休むことができます。
しかし、注意点もあります。エネルギーを一点に集中させるため、熱密度が高くなります。タイミングや距離が間違っていると、基材が焼けてしまいます。そのため、PIDコントローラーを正しく設定し、迅速な温度上昇に対応できるようにする必要があります。
工場内での利用
最良な点は、これらのランプは標準的なIRランプと交換可能に設計されていることです。既存の電源ラインに接続するだけでOKです。
効果はすぐに現れます。装置の内部が加熱されないため、センサーの精度が長期間保たれ、内部の部品も壊れません。これにより、システム全体がスムーズに動作します。