クラス100のクリーンな環境を維持するには
もしクラス100の環境で作業を行っているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりの破片やヒーターから発生するガスさえも、単なる迷惑な存在ではありません。それは大惨事です。ウェーハを台無しにし、歩留まりを悪化させてしまいます。
一般的なヒーターランプは、このような環境には適していません。それらは物質を放出したり、化学物質を漏出させたりします。私たちは、高純度の合成石英を使用することで、この問題を解決しようとしました。
石英が重要な理由
高純度の溶融シリカを使用すれば、安価なガラスでは見られるような「ガスの放出」が起こりません。 たとえ高温になっても、石英は化学的に安定しています。破片になったり、剥がれ落ちたりすることもありません。また、表面を鏡面のように研磨することで、ほこりが付着する小さな凹みや粗さがなくなります。つまり、ほこりが隠れる場所がないので、常に清潔な状態が保たれます。
力と熱
これらのランプは、高いワット密度を実現するように設計されています。高出力を石英製のケースに閉じ込めることで、強力な短波長の赤外線が得られます。 最良な点は、チャンバー全体をオーブンのようにすることなく、直接対象となる基材を加熱できることです。 ただし、注意が必要です。電源の設定を正確にしなければなりません。フィラメントに過剰な電力を供給すると、すぐに壊れてしまいます。逆に、電力が不足すると、加熱に時間がかかり、結果として処理速度が低下します。適切なバランスが重要です。
実際の運用
緩む接続部は大変な問題を引き起こすため、標準化されたコネクタを使用しています。緩んだ接続部はアークを発生させ、金属の煙を生み出します。クリーンルームでは、これは避けたいことです。 また、高純度の石英はもろいため、衝撃に弱いです。高温にさらされても問題ありませんが、落としたり、過度に圧縮したりすると、すぐに割れてしまいます。柔らかいマウントを使用する必要があります。また、これらのランプは非常に強力な熱を発するため、冷却ファンが十分な性能を発揮できるようにしておく必要があります。そうしないと、筐体が変形してしまいます。 もし工場をアップグレードするのであれば、「粒子ゼロ」という基準が最も重要な場合、これらのランプは最適な選択肢です。