ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイク工程は単なる一工程ではない。そこが門口である。温度異常や微粒子発生が一度でもあれば、多くのウェハを失う可能性がある。そこで我々は、シフトごとにその門を閉じ続けるために、ファブランプ用の石英ガラスシールドを製作した。
内部で重要なポイント
高純度の融解石英を採用している。これは短波および中波IR帯の安定した透過率を確保し、クリーンルーム空気中での低アウトガス性を維持するためである。シールドはランプの出力を安定させると同時に、フィラメントと光学系をコーティングのずれや微粒子から保護する。ウェハ全体で熱の均一性は厳密に維持されるため、ソフトベイクおよびハードベイクの温度プロファイルを再現可能な範囲に収めることができる。Class 1–100 環境下での運用が可能で、微粒子数を増やすことはなく、急激な熱サイクルにも耐え、微小亀裂が発生しない設計である。
7×24リソグラフィセルで採用される理由
予期せぬランプ停止はスケジュールの信頼性を破壊し、確保してきた歩留まりを損なう。シールドは主な故障モードの一つを除去する。結果として、予期せぬダウンタイムがなくなり、ランプ寿命が延び、ベイク温度の再現性が規格内で保持され続ける。ランプ交換回数の削減、クリティカル寸法の安定、そしてウェハ当たりのコストが低減される。また、シールドは結合効率を維持し熱損失を低減するため、エネルギーも節約できる。
品質を維持する細部
設置はランプとリフレクターの寸法に正確に合わせる必要がある。数ミリメートルのズレでもホットスポットを生じさせ、均一性を失う原因となる。レトロフィット前には、コネクタの種類、ランプのエンベロープ寸法、冷却用のエアフローを必ず確認すること。石英表面は慎重に扱い、クリーンルーム承認済みの工具や溶剤でのみ拭き取りを行う。傷は光を散乱させ、均一性を速やかに悪化させる。適切なランプおよびプロセスに合わせて使用すれば、シールドは継続稼働が可能で、交換は不要。定期的な清掃確認のみで運用できる。