फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट के बेकिंग प्रक्रम में ही लाइनविड्थ कंट्रोल संभव है… कोई छूट नहीं है। “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” के दौरान कुछ डिग्री का विचलन भी जल्दी ही दिखाई देता है… एक्सपोजर लैटिट्यूड कम हो जाता है, और सीडीज़ अपनी जगह से हट जाती हैं। कैनन के लिथोग्राफी हीटर बल्ब इसी सिद्धांत पर बने हैं… ये थर्मल व्यवहार को नियंत्रित करते हैं, ताकि प्रक्रिया हर बार ठीक ही चले।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ये बल्ब इन्फ्रारेड ऊष्मा प्रदान करते हैं… जिससे वेफर पर एक स्थिर थर्मल फील्ड बनता है। यह ज्यामिति महत्वपूर्ण है… क्योंकि यह किनारों से केंद्र तक के अंतर को कम करती है… ताकि पूरा फील्ड फोटोरेजिस्ट की थर्मल सीमाओं के भीतर ही रहे। डिज़ाइन में ही पुनरावृत्ति की सुविधा है… नियंत्रित फिलामेंट ज्यामिति एवं स्थिर क्वार्ट्ज एनवेलपमेंट से तापमान स्थिर रहता है। इसका परिणाम है – पूर्वानुमेय बेकिंग प्रक्रिया… जिससे महत्वपूर्ण आयाम सुरक्षित रहते हैं, एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
यह लिथोग्राफी प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी में, बेकिंग कोई स्वतंत्र चरण नहीं है… यह तो एक्सपोजर एवं डेवलपमेंट की प्रक्रिया के लिए आवश्यक है। कैनन के हीटर बल्ब, क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी काम कर सकते हैं… एवं कम कणों का उत्पादन करते हैं… जो कि दोषों को कम करने में महत्वपूर्ण है। ऊष्मा प्रतिक्रिया तेज़ एवं स्थिर होती है… इससे थर्मल रैंप छोटा रहता है… एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है।
ऊर्जा खपत कम होती है…
क्योंकि ऊष्मा सीधे ही आवश्यक स्थान पर जाती है… एवं लंबे समय तक काम करने से स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
व्यावहारिक विवरण…
बल्ब को कैनन के लिथोग्राफी टूल मॉडल एवं रिफ्लेक्टर ज्यामिति के अनुरूप ही चुनें… अन्यथा गर्म बिंदु एवं विचलन हो सकता है। बल्ब की उम्र सीमित होती है… इसलिए नियमित रखरखाव की आवश्यकता है। वोल्टेज में उतार-चढ़ाव से आउटपुट प्रभावित होता है… एवं एकरूपता भी खराब हो जाती है। यदि बल्ब सही तरीके से लगाया जाए, तो यह थर्मल सटीकता प्रदान करता है… जिससे बेकिंग प्रक्रिया एक पुनरावृत्ती योग्य प्रक्रिया बन जाती है… न कि एक जोखिमपूर्ण प्रक्रिया।