SEM फ्लोर पर, एक बहती हुई सैंपल स्टेज या अस्थिर फोटोरेसिस्ट बेक प्रोफाइल आपके यील्ड को चुपचाप कम कर देता है। तापमान के छोटे लगने वाले उतार-चढ़ाव लाइनविड्थ त्रुटियों और चार्जिंग आर्टिफैक्ट्स में बदल जाते हैं, जो कई घंटे बाद दिखाई देते हैं। हमने अपने इन्फ्रारेड SEM हीटर को इसी बहाव को स्रोत पर रोकने के लिए बनाया है।
तकनीकी रूप से क्या महत्वपूर्ण है
हम छोटे वेवलेंथ के इन्फ्रारेड का उपयोग करते हैं ताकि सक्रिय क्षेत्र में सटीक एकरूपता के साथ सब-मिलीमीटर थर्मल फील्ड बनाए रखा जा सके। व्यावहारिक रूप से इसका मतलब है, वेफर-स्तर का तापमान नियंत्रण जो एक संकुचित बैंड में रहता है—जिससे आपका सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल बिना हॉट स्पॉट्स या किनारे के अधूरा बेक होने के दोहराव के होता है। प्रतिक्रिया तीव्र है, इसलिए सेटपॉइंट बदलते ही सिस्टम जल्दी स्थिर हो जाता है और रन-बैपराम पुनरावृत्ति बनाकर रखता है। इसे क्लीनरूम उपयोग के लिए बनाया गया है, ऐसे सामग्री और निर्माण के साथ जो कण उत्पादन को कम करते हैं।
लिथोग्राफी-सम्बद्ध निरीक्षण और मीट्रोलॉजी में यह क्यों काम करता है
थर्मल हिस्ट्री सुसंगत होनी चाहिए। एक स्थिर, समान ताप प्रोफाइल CD में बदलाव को कम करता है, इमेज की पुनरावृत्ति को बेहतर बनाता है, और थर्मल असमानता से उत्पन्न स्क्रैप को घटाता है। आपको कम वॉर्म-अप समय, कम री-बेक की आवश्यकता, और योजना योग्य सायकल टाइम मिलते हैं। ऊर्जा की खपत घटती है क्योंकि हीटर सेटपॉइंट तक जल्दी पहुँचकर उसे कुशलता से बनाए रखता है, और विश्वसनीयता 24/7 संचालन के लिए डिज़ाइन की गई है जिसमें अनियोजित स्टॉप कम होते हैं।
शुरुआत में आपको क्या जानना होगा
इंस्टॉलेशन स्टेज कम्पैटिबिलिटी और क्लियरेंस पर निर्भर करता है। हीटर को सैंपल प्लेन के साथ सटीक रूप से संरेखित करना होता है ताकि एकरूपता प्रोफाइल बरकरार रह सके। आपकी विशिष्ट सैंपल स्टैक के लिए एमिसिविटी और स्कैन स्पीड ट्यून करने के लिए एक त्वरित कमीशनिंग चरण अपेक्षित है। संरेखित होने के बाद, यह न्यूनतम रखरखाव के साथ चलता है, लेकिन यदि आप स्टेज ज्यामिति या कोटिंग्स में कोई बदलाव करते हैं, तो आपको थर्मल मैप को पुनः सत्यापित करना होगा।