लिथो फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सही तरीके से सुखाना बहुत ही महत्वपूर्ण है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का भी अंतर, उत्पाद के आकार में परिवर्तन ला सकता है, एवं साइडवॉल प्रोफाइल को भी प्रभावित कर सकता है। जब वेफर पर ऊष्मा-संबंधी असमानताएँ होती हैं, तो इसका परिणाम उत्पादन में कमी, पुनः कार्य करने की आवश्यकता, एवं पूरे बैचों का नष्ट होना होता है। हमने अपने सेमीकंडक्टर लेजर डायोड हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे; क्योंकि यही वह सीमा है जिसे हमारी प्रक्रिया स्वीकार कर सकती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम NIR लेजर डायोड स्रोतों का उपयोग करते हैं, एवं इन्हें क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के साथ चलाते हैं। इससे ऊष्मा तेज़ी से, केवल आवश्यक स्थानों पर ही पहुँचती है, एवं वेफर पर कोई गर्म बिंदु नहीं बनता। इसके परिणामस्वरूप, एक्टिव बेक ज़ोन में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं बैचों के बीच भी तापमान में ±0.05°C का ही अंतर रहता है। यह प्लेटफॉर्म क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है; एवं ऐसी सामग्रियों/सतहों का उपयोग किया गया है, ताकि बेकिंग एवं ठंडा होने की प्रक्रिया के दौरान कोई कण न बने। ऊर्जा आपूर्ति भी लगातार स्थिर रहती है – हमारे उपकरण 5,000+ घंटे तक चल सकते हैं, एवं उनका आउटपुट 5% से भी कम कम होता है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
तापमान-सटीकता ही वह कारक है जो विलायकों के निष्कासन, क्रॉसलिंकिंग, एवं अंततः इटच-प्रतिरोध को नियंत्रित करता है। लेजर डायोड हीटर के उपयोग से, हर बेकिंग चरण में तापमान नियंत्रित रहता है; इससे CD में होने वाले परिवर्तन कम हो जाते हैं, एवं लाइन-एज की खुरदराहट भी नियंत्रण में रहती है। तेज़ ऊष्मा-प्रतिक्रिया के कारण बेकिंग चक्र भी कम समय में ही पूरे हो जाते हैं; ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है; एवं रखरखाव संबंधी समस्याएँ भी कम हो जाती हैं। यह समाधान मौजूदा प्रक्रियाओं में ही लागू हो सकता है; इससे प्रक्रिया-नियंत्रण में सुधार होता है।
आपको क्या योजना बनानी होगी?
स्थापना के दौरान ऑप्टिकल पथ को सही ढंग से संरेखित करना आवश्यक है; साथ ही एक्सहॉस्ट एवं कूलिंग प्रणालियों की संगतता भी जाँचनी होगी। हीटर तभी सबसे अच्छा काम करता है, जब सब्सट्रेट की पिछली सतह की स्थिति स्थिर रहे – फिल्में, अवशेष, या विकृतियाँ ऊष्मा-संचरण को प्रभावित कर सकती हैं; इसलिए इन्हें भी ध्यान में रखना आवश्यक है। तापमान-प्रोफाइलों को जाँचने हेतु एक छोटा सा टेस्ट चलाना आवश्यक है; एवं नियंत्रण-लूप को भी अपनी आवश्यकताओं के अनुसार समायोजित करना आवश्यक है।