حفظ سرمایش و ایمنی هنگام گرم کردن ویفرها
هنگامی که در منطقههای تمیزکاری شیمیایی، ویفرها را گرم میکنید، در واقع در حال انجام کاری پرخطر هستید. شما به حرارت کافی برای انجام کار نیاز دارید، اما اگر حرارت را بیش از حد افزایش دهید، خطر اشتعال وجود دارد. استفاده از لامپهای مادون قرمز در نزدیکی مواد قابل اشتعال، نه تنها خطرناک است، بلکه میتواند منجر به آسیبهای جدی شود.
ما این مشکل را با تمرکز بر دو مورد حل میکنیم: استفاده از پوششهای ویژه و محاسبات دقیق مربوط به فاصلههای ایمنی. هدف ساده است: اطمینان از اینکه سطح لامپ هرگز به دمایی نرسد که باعث اشتعال بخارات شود.
پوششهای ویژه:
ما فقط یک لوله کوارتز را در آنجا قرار نمیدهیم و امیدواریم که همه چیز خوب پیش برود. لامپهای ما در پوششهای دربسته و محافظتی قرار دارند. میتوان آن را مانند یک محافظ در نظر گرفت؛ این پوششها مانع از رسیدن گازهای سمی و خورنده به ترمینالهای الکتریکی میشوند. اگر لامپ خراب شود، این پوششها مانع از واکنش گازهای هالوژنی با مواد شیمیایی موجود در اطراف میشوند.
همچنین، ما از پوششهای ویژهای بر روی کوارتز استفاده میکنیم؛ این پوششها باعث میشوند که حرارت در جای مناسبی توزیع شود، نه اینکه به بدنه دستگاه آسیب برسد.
فاصلههای ایمنی:
انتخاب فاصله ایمنی کار سادهای نیست؛ این کار بستگی به توان لامپ و نقطه اشتعال مواد شیمیایی دارد. شما باید فاصلهای را انتخاب کنید که سطح خارجی لامپ، همیشه پایینتر از دمای بحرانی مواد شیمیایی باشد. ما معمولاً فاصلهای را پیشنهاد میکنیم که امکان جریان هوا را فراهم کند.
مشکل اینجاست که تمایل به قرار دادن لامپ در فاصله کمتری از ویفر برای سریعتر کردن فرآیند وجود دارد؛ اما این کار را نکنید. در این صورت، بدنه دستگاه دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. اگر این کار را انجام دهید، نیاز به فنهای خنککننده قویتری خواهید داشت تا حرارت را از پشت لامپ دور کنند.
تعادل بین سرعت و ایمنی:
لامپهای با توان بالا، سریع عمل میکنند؛ اما باعث ایجاد نقاط گرم بسیار شدید میشوند. هنگام کار در مناطق انفجاری، استفاده از این لامپها میتواند خطرناک باشد. برای حفظ ایمنی، ما اغلب کمی از سرعت آنها را فدا میکنیم تا از بروز خطرات جلوگیری شود.