جلوگیری از ورود ذرات خطرناک: حفظ تمیزی ویفرها در فرآیند خشککردن با استفاده از امواج مادون قرمز
اگر در زمینه تولید سنسورهای MEMS کار میکنید، میدانید که مرحله خشککردن، مرحلهای است که میتواند به سرعت مشکلاتی را ایجاد کند.
تصور کنید: یک لامپ مادون قرمز در برابر بار سنگینی دچار خرابی شود؛ در نتیجه، تکههای شیشه و رشتههای تنگستن روی ویفرها میافتند. این وضعیت واقعاً وحشتناک است؛ یک خرابی در لامپ میتواند به کل محموله آسیب برساند.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم.
دلایل خرابی لامپها
معمولاً، دلیل خرابی لامپها، فشار حرارتی یا وجود ناخالصیهایی در کوارتز است. برای رفع این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار به توزیع یکنواخت گرما در داخل لامپ کمک میکند.
همچنین، ما به موقعیت قرارگیری رشتههای لامپ نیز توجه زیادی میکنیم؛ اگر این رشتهها کمی منحرف شوند، نقاط گرم ایجاد میشود؛ در آن نقاط، کوارتز نرم شده و در نهایت خراب میشود.
ایجاد سیستم حفاظتی
برای جلوگیری از ورود ذرات خطرناک به ویفرها، ما فقط به بهترین شرایط امیدوار نمیشویم؛ بلکه از پوششهای حفاظتی یا رزینهای مقاوم در برابر ضربه استفاده میکنیم.
میتوانید آن را یک سپر فیزیکی در نظر بگیرید؛ اگر لامپ داخلی خراب شود، پوشش بیرونی تمام ذرات را در خود نگه میدارد؛ در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند.
همچنین، از درپوشهای محکم و اتصالات مناسب برای جلوگیری از ایجاد جریان الکتریکی استفاده میکنیم؛ این کار از خرابی لامپ و پخش غبارهای فلزی در اتاق خشککردن جلوگیری میکند.
تعادل در فرآیند خشککردن
نکته مهم این است که استفاده از امواج مادون قرمز با تراکم بالا، همیشه نیازمند تعادلی است. البته، میتوانید توان لامپ را افزایش دهید تا خشککردن سریعتر انجام شود؛ اما این کار باعث میشود کوارتز به سرعت به نقطه شکست خود برسد.
در اینجا، فنهای خنککننده نقش مهمی دارند؛ باید مطمئن شویم که آنها بتوانند گرمای اضافی را کنترل کنند. اگر جریان هوا ضعیف باشد، گرما در نقاط مشخصی تجمع میکند و لامپها زودتر از حد معمول خراب میشوند.
ما این سیستمها را برای محیطهای کاری ۲۴/۷ طراحی کردهایم؛ در نتیجه، شما میتوانید توان لامپ مورد نیاز خود را داشته باشید، و مهمتر از آن، میتوانید بازدهی تولید خود را حفظ کنید، زیرا ذرات خطرناک از فرآیند تولید دور نگه میمانند.