در فرآیند خشک کردن ویفرها، این کار صرفاً یک عملیت ساده نیست؛ بلکه آخرین مرحله حرارتی برای تثبیت ساختار ویفر است. حتی وجود مقدار کمی رطوبت، یا اختلافات در دمای حرارتی در طول فرآیند خشک کردن، میتواند منجر به مشکلاتی مانند تغییرات در ساختار ویفر شود. لامپ خشک کننده ویفرهای سلولهای خورشیدی، برای جلوگیری از این مشکلات طراحی شده است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندگان نور مادون قرمز برای انتقال سریع انرژی به ویفر استفاده میکنیم؛ این کار باعث کاهش تأخیر حرارتی و حفظ پایداری فرآیند میشود. این سیستم، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ بنابراین پارامترهای حرارتی مربوط به فرآیند خشک کردن، در هر بار تولید، یکسان باقی میمانند. سازگاری این سیستم با محیطهای پاک نیز مهم است؛ در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذرهای از لامپ خارج نمیشود، و ساختار کوارتز/بازتابنده نیز به گونهای طراحی شده که از انتشار گازهایی که میتوانند فوتورزیست را آلوده کنند، جلوگیری شود. توان خروجی لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ تغییر میکند؛ این امر باعث کاهش نیاز به تنظیمات مجدد و کاهش زمان توقف غیرمنتظره فرآیند میشود.
چرا این سیستم برای کارخانههای تولید ویفرهای خورشیدی مناسب است؟
در کارخانههای تولید ویفرهای خورشیدی، این لامپ مستقیماً در فرآیند خشک کردن استفاده میشود، بدون نیاز به تغییراتی در روشهای تولید. کنترل دقیق دمایی، زمان تثبیت ویفر را کوتاه میکند، هزینههای مربوط به فرآیندهای تولید مجدد را کاهش میدهد، و باعث حفظ پایداری فرآیند میشود. کارایی بالای فرستندگان نور مادون قرمز و کنترل دقیق زمان انتقال انرژی، مصرف انرژی را کاهش میدهد؛ همچنین طول عمر طولانی این فرستندگان، بار مربوط به تعویض قطعات را کاهش میدهد. در نتیجه، پایداری فرآیند تولید تضمین میشود؛ فوتورزیست به طور یکنواخت عمل میکند، ابعاد کلیدی ویفر قابل پیشبینی باقی میمانند، و تغییرات مربوط به فرآیند خشک کردن نیز به حداقل میرسد.
نکته مهم: فرآیند خشک کردن با نور مادون قرمز، نیازمند دید مستقیم است؛ بنابراین، هندسه ویفر و سایههای ایجاد شده توسط آن، باید در طراحی دستگاه لحاظ شوند. تنظیمات لازم برای این کار، نیازمند چند بار آزمایش ساده است؛ پس از آن، سیستم میتواند با کمترین تنظیمات کار کند. این تنظیمات اولیه، باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود.