در مرحله پس از CMP، شستشو با مواد خاص باعث ایجاد قطرات ریزی میشود؛ اگر فرآیند خشک کردن دچار تغییر شود، این قطرات میتوانند به نقصهایی در سطح ویفر تبدیل شوند. حتی افزایش یک درجه در دما نیز میتواند باعث تغییر رفتار فوتورزیست در فرآیند خشک کردن شود. همچنین، وجود ذرات در حین گرم کردن نیز میتواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. لازم است که دما در محدوده مشخصی باقی بماند و سطح ویفر تمیز باشد.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما این گرمکن را برای پاسخگویی به نیازهای خاص مرحله پس از CMP طراحی کردهایم. لامپهای هالوژنی پاسخ سریع و پایداری ارائه میدهند؛ همچنین، پنجره کوارتزی، اتاق را از بدنه لامپ جدا میکند تا تعداد ذرات کاهش یابد. یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰٫۱ درجه C است؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند خشک کردن نیز بالاتر از ±۰٫۲ درجه C است. تنظیمات دما با دقت بالایی انجام میشود تا ابعاد و ویژگیهای ویفر حفظ شوند. این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، تمام مواد مورد استفاده باعث کاهش گازهای زائد و ذرات موجود در سطح ویفر میشوند. توان مورد نیاز برای کارکرد صحیح سیستم، متناسب با ویژگیهای پلتفرم است؛ همچنین، رابط کاربری این سیستم به گونهای طراحی شده که بتواند به راحتی در سیستمهای موجود قرار گیرد.
چرا این سیستم در عمل مؤثر است؟
در فرآیند خشک کردن پس از CMP، گرمکن باید رطوبت باقیمانده را از روی ویفر بردارد، بدون اینکه حلالها را خیلی سریع خشک کند. این یکنواختی دما، از ایجاد نقصهایی در سطح ویفر جلوگیری میکند؛ همچنین، سطح تمیز ویفر نیز باعث کاهش تعداد ذرات موجود در سطح آن میشود. نتیجه این امر، کیفیت بهتر در فرآیند لیتوگرافی، کاهش تعداد کارهای تکراری، و زمانبندی دقیقتر فرآیندها است. مصرف انرژی نیز از طریق عملکرد مؤثر لامپها و مدیریت دقیق دما، کنترل میشود؛ بنابراین هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه سرعت کار کاهش یابد. این سیستم برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ همچنین، اجزای مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که باعث کاهش زمانهای توقف غیرمنتظره شوند.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟
نصب این سیستم نیازمند تطبیق جهتگیری اتاق و جریان هوا است. ما مجموعه لازم برای نصب و نقشه مربوط به پروفایل حرارتی را فراهم میکنیم؛ اما همچنان لازم است که تطبیقات لازم در هنگام راهاندازی سیستم انجام شود. از همان ابتدا، باید از روشهای مناسب برای حفظ سطح تمیز ویفر استفاده شود. گرمکن در محدوده دمای مشخصی کار میکند؛ اگر از این محدوده خارج شویم، حد کنترل حرارتی کاهش مییابد. برای ادامه کار، باید قطعات یدکی لازم را بر اساس عمر لامپها و زمان بازرسی پنجرهها در نظر بگیرید.