در خط تولید، میدانید که چقدر سریع تغییرات دما بر روی وسایل مورد استفاده در فرآیند فتونگهداری، میتواند منجر به تغییرات در ضخامت خطوط حاصل شود. یک بار ناهماهنگی در فرآیند گرم کردن، میتواند باعث از بین رفتن کل محموله شود. ما هیتر مخصوص اتاقهای پاکسازی را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد. این هیتر، کل محموله را در یک دمای پایدار نگه میدارد؛ بنابراین فتونگهدار در هر بار استفاده، همان شرایط حرارتی را تجربه خواهد کرد.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما از عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه برای گرم کردن سریع و دقیق استفاده میکنیم؛ در نتیجه، حرکت هوا به حداقل میرسد. یکنواختی حرارتی در سطح ویفر، در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند گرم کردن، در محدوده ±۰٫۰۵ درجه سانتیگراد است. کنترل سرعت گرم شدن، در حد ۲ درجه سانتیگراد بر ثانیه است؛ در نتیجه، فرآیند گرم کردن به درستی انجام خواهد شد. بدنه هیتر، برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ از موادی با انتشار گاز کم، جوشهای تمیز و سطحی بدون ذرات استفاده شده است. این هیتر، بدون ایجاد ذرات، میتواند کار خود را انجام دهد و تعداد ذرات موجود را در محدوده مشخصی نگه دارد.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟ فرآیند گرم کردن فتونگهدار، پایه و اساس کنترل اندازههای مهم در فرآیند لیتوگرافی است. این هیتر، دمای گرم کردن را در هر شرایطی پایدار نگه میدارد؛ بنابراین، نیاز به تولید مجدد کمتری وجود دارد و توزیع اندازههای مهم نیز دقیقتر خواهد بود.
مدیریت مصرف انرژی مصرف انرژی، از طریق استفاده از عناصر کارآمد و سیستمهای کنترل هوشمند، مدیریت میشود؛ بنابراین میتوانید چرخههای طولانیتری را بدون تخطی از بودجه انرژی انجام دهید. قابلیت اطمینان این هیتر، برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ قطعات مورد استفاده نیز برای عمر طولانی و خروجی پایدار انتخاب شدهاند. این امر، باعث کاهش زمان توقف غیرمنتظره و کاهش نیاز به قطعات یدکی میشود.
نکات عملی این هیتر، به سرعت میتواند ادغام شود؛ اما به یک مدار تغذیه جداگانه نیاز دارد. برای جلوگیری از ایجاد نقاط گرم، باید آن را از ساختار چرخ مربوطه جدا کرد. پس از روشن شدن، باید مدت زمان کوتاهی برای گرم شدن و استابیل شدن آن صرف کرد؛ فرآیند گرم کردن تنها زمانی آغاز خواهد شد که سنسور مربوطه دمای مورد نظر را تأیید کند. در محیطهایی با رطوبت بالا، ممکن است نیاز به کنترل بیشتر رطوبت باشد تا داخل هیتر خشک بماند و دقت سنسور حفظ شود.