در کف سالن SEM، حرکت ناخواسته نمونه یا پروفایل پخت نامنظم رزین حساس، بهصورت تدریجی بازده شما را کاهش میدهد. تغییرات دمایی که در نمایشگر کوچک به نظر میرسند، به خطاهای عرض خطوط و آرتیفکتهای ناشی از شارژ منجر میشوند که ساعتها بعد دیده میشوند. ما المنتهای مادون قرمز SEM خود را برای حذف این تغییرات از منبع طراحی کردهایم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
ما از مادون قرمز کوتاهموج برای ایجاد میدان حرارتی زیر میلیمتری با یکنواختی دقیق در سراسر ناحیه فعال استفاده میکنیم. این بهطور عملی به معنای کنترل دما در سطح وافر است که در یک بازه محدود باقی میماند—بنابراین پروفایلهای پخت نرم و سخت تکرارپذیر بوده و نقاط داغ یا پخت ناقص در لبهها وجود ندارد. پاسخ سیستم سریع است، بنابراین هنگام تغییر نقطه تنظیم، سامانه به سرعت پایدار شده و تکرارپذیری را در هر بار اجرا حفظ میکند. این دستگاه برای استفاده در اتاق تمیز ساخته شده و مواد و سازه آن تولید ذرات را کاهش میدهد.
دلایل کارکرد این سیستم در بازرسی و متولوژی مرتبط با لیتوگرافی
تاریخچه حرارتی باید ثابت باشد. یک پروفایل حرارتی پایدار و یکنواخت، تغییرپذیری CD را کاهش داده، تکرارپذیری تصویر را بهبود میبخشد و ضایعات ناشی از عدم یکنواختی حرارتی را کم میکند. شما پنجرههای گرمکردن کوتاهتر، دفعات پخت مجدد کمتر و زمانهای چرخه قابل برنامهریزی خواهید داشت. مصرف انرژی کاهش مییابد چون المنت سریع به نقطه تنظیم میرسد و بهصورت کارآمد آن را حفظ میکند و قابلیت اطمینان برای کار مداوم 24/7 با کاهش توقفهای غیرمنتظره طراحی شده است.
آنچه باید از ابتدا بدانید
نصب وابسته به سازگاری مرحله نمونهگذاری و فضای خالی است. المنت باید دقیقاً با صفحه نمونه همراستا شود تا پروفایل یکنواخت حرارتی حفظ شود. یک مرحله راهاندازی سریع برای تنظیم امیسیویته و سرعت اسکن با توجه به استک نمونه خاص شما پیشبینی کنید. پس از تنظیم، دستگاه با حداقل نگهداری کار میکند، اما در صورت تغییر هندسه مرحله یا پوششها، باید نقشه حرارتی دوباره تایید شود.