如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净环境中加热基板时，容错率几乎为零。哪怕有一点点灰尘或有害气体逸出，整个批次的产品都会被毁掉。
问题在于，大多数普通红外灯都容易产生污染。它们在开始工作时就会释放出微小的杂质或有害的挥发性有机化合物。为了解决这个问题，我们选择了超高纯度的合成石英作为光源材料。
为什么选择合成石英？
我们没有使用天然石英，而是选择了高纯度的合成二氧化硅。天然石英中含有微量金属杂质，这些杂质在高温下会迁移到表面，导致灯光产生“烟雾”，这对晶圆来说是个大问题。为避免这种情况，我们的超高纯度石英管经过了严格的化学处理，从而去除了所有杂质。这样一来，虽然能产生强大的热量，但不会造成任何污染。这样一来，透镜就能保持清澈，晶圆也能保持完好无损。
关键在于密封性
大多数灯具的密封性不佳。很多制造商使用有机胶水或廉价粘合剂，但这些材料在达到工作温度后就会开始释放气体。我们则采用了高温玻璃与金属相结合的密封方式，这样就能将卤素气体锁在管内，防止外界物质进入。我们还可以根据实际需求调整连接器的尺寸，但真正起作用的是其内部的化学结构。
几点注意事项
需要注意的是，虽然超高纯度石英具有化学稳定性，但它对表面的油污却极为敏感。如果在安装过程中有人直接用手触碰灯具，皮肤上的盐分和油脂会在表面形成“热点”，进而导致热应力，最终使灯具破裂。因此，务必确保所有人都要佩戴无绒手套，并用异丙醇进行清洁。另外，还要注意冷却系统是否正常。由于这类灯具需要极高的精确度，因此其产生的热量非常大。必须确保冷却风扇或水套能够正常工作。如果外壳过热，那就麻烦了。